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SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測(cè)儀
SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測(cè)儀為工程師提供了準(zhǔn)確性,、可靠性和靈活性的過(guò)程監(jiān)控，可以提高效率,、保證晶圓制造的一致性,，以滿足更高的良率和容錯(cuò)的要求。在競(jìng)爭(zhēng)激烈的微電子工業(yè)中,，如果不使用復(fù)雜的監(jiān)測(cè)和控制來(lái)確保晶圓制造的一致性,，晶圓的制造成本將大大提高,。
我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測(cè)儀允許定量化學(xué)濃度,。全在線化學(xué)監(jiān)測(cè)能夠?qū)崟r(shí)校正溶液成分，從而穩(wěn)定控制工藝條件,、保持產(chǎn)品的一致性,。
監(jiān)控工藝過(guò)程中溶液的組分信息能夠增加產(chǎn)品的產(chǎn)量?？赡苡绊懏a(chǎn)品質(zhì)量的變化在檢測(cè)時(shí)會(huì)立即顯現(xiàn)出來(lái),，并在產(chǎn)品質(zhì)量受損之前迅速糾正。
產(chǎn)品選項(xiàng)
• 多個(gè)樣本點(diǎn)
• 額外的5 mL數(shù)字滴定管
• 附加傳感器
• 安全聯(lián)鎖裝置
• 試劑低液位檢測(cè)
優(yōu)勢(shì)
• 增加工具產(chǎn)量
• 降低化學(xué)品成本
• 實(shí)時(shí)過(guò)程監(jiān)控
• 降低批量損失
• 降低所有者成本
應(yīng)用
• 銅化學(xué)機(jī)械拋光
• 鎢化學(xué)機(jī)械拋光
• 濕法蝕刻
• 清潔
• DSP+
• 氮化物蝕刻
• PAN蝕刻
• 食人魚(yú)蝕刻
• HF
產(chǎn)品特點(diǎn)
• 4個(gè)4-20 mA 模擬輸出
• 8個(gè)可編程繼電器
• 以太網(wǎng)和 RS232 串口
• 彩色觸摸屏
• 集成試劑儲(chǔ)存
• 單采樣點(diǎn)
• 1個(gè)5mL數(shù)顯滴定管
• 多個(gè)傳感器輸入
規(guī)格
| 分析方法 | 電位法/標(biāo)準(zhǔn)加入法/光度法 |
| 精確度1 | ±0.2%顯示值 |
| 誤差度1 | 0.2%相對(duì)誤差 |
| 測(cè)量時(shí)間 | 少于5分鐘/分析(取決于應(yīng)用) |
| 校準(zhǔn)頻率 | 自開(kāi)始起2 |
| 樣品消耗量 | 小于 5 mL/次 |
| 樣品量 | 0.05 至 5 mL（取決于應(yīng)用） |
| 樣品溫度 | 低于93℃(200℉) |
| 耗水量 | 少于1000mL/次 |
| 樣品入口/返回 | 小于30 psi |
| 0.5升/分鐘 | |
| 1/4"外徑擴(kuò)口接頭 | |
| 1"FPT 密封聯(lián)軸器 | |
| 去離子水 | 20-40 psi |
| 2升/分鐘 | |
| 1/4"外徑擴(kuò)口接頭 | |
| CDA | 60-80 psi |
| 1/4"外徑快速接頭 | |
| 過(guò)程排放 | 3/4"NPT 重力排放 |
| 機(jī)箱排水 | 1/2"NPT 重力排放 |
| 電源 | 110 /220 VAC,，50 /60 Hz,，1 /0.5A 現(xiàn)場(chǎng)可切換 |
| 排水 | 1 7 /8" OD @ 17 CFM |
| 外形尺寸 | 39.00"H x 27.00"W x 16.00"D |
1僅指“硬件"。應(yīng)用,、化學(xué)和工藝條件等外部因素會(huì)影響系統(tǒng)準(zhǔn)確度和精密度,。
2這不包括 pH 傳感器的校準(zhǔn)。有關(guān)詳細(xì)信息,，請(qǐng)參閱安裝和操作手冊(cè),。Entegris 相信此處包含的數(shù)據(jù)是真實(shí)的，所表達(dá)的意見(jiàn)是合格專(zhuān)家對(duì)所進(jìn)行測(cè)試的結(jié)果的看法,，這些數(shù)據(jù)不應(yīng)被視為 Entegris 承擔(dān)法律責(zé)任的保證或陳述,。提供的數(shù)據(jù)僅供考慮、調(diào)查和驗(yàn)證,。對(duì)這些數(shù)據(jù)和信息的任何使用都必須由用戶決定,，以符合聯(lián)邦、州和當(dāng)?shù)氐姆煞ㄒ?guī),。所有規(guī)格如有更改,，恕不另行通知,。
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